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【商品説明】
●高純度薬品用
●半導体製造設備用
●本体材質にステンレス鋼を採用、シール材質にゴムを使用した汎用型。
●本体およびバルブスプリングに、ステンレス(SUS304)を採用。さらに本体に電解研摩処理を施して耐食性能を高めています。
●シール材は流体・用途に合わせて選択自在。半導体製造工程にフレキシブルに対応します。
●ノーグリース仕様として、シール材にはグリースを塗布していません。
●サイズのバリエーションが豊富なので、ご希望の用途・流量に合わせて選択することができます。
●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立て・検査および包装を行っています。
●プラグにはキャップが標準装備されています。
●互換性:同じサイズであれば取付形状にかかわらず接続できます。
●バルブ構造:両路開閉型
●セミコンカプラSP型のソケット(6S)と接続できます。
【用途】
●電解研摩処理を施して耐食性が向上。
●高純度薬品用
●半導体製造設備用
●本体材質にステンレス鋼を採用、シール材質にゴムを使用した汎用型。
●本体およびバルブスプリングに、ステンレス(SUS304)を採用。さらに本体に電解研摩処理を施して耐食性能を高めています。
●シール材は流体・用途に合わせて選択自在。半導体製造工程にフレキシブルに対応します。
●ノーグリース仕様として、シール材にはグリースを塗布していません。
●サイズのバリエーションが豊富なので、ご希望の用途・流量に合わせて選択することができます。
●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立て・検査および包装を行っています。
●プラグにはキャップが標準装備されています。
●互換性:同じサイズであれば取付形状にかかわらず接続できます。
●バルブ構造:両路開閉型
●セミコンカプラSP型のソケット(6S)と接続できます。
【注意・使用条件】
●※適用流体と本体材質・シール材質の適合性については、流体の成分、濃度、温度等を考慮し慎重にご選定願います。
●本体形状:プラグ
●バルブ構造:バルブ付き(ソケットバルブ付き)
●取付形状・サイズ:Rc3/4(めねじ)
●最高使用圧力(MPa{kgf/平方センチメートル}):0.2{2}
●耐圧力(MPa{kgf/平方センチメートル}):0.3{3}
●シール材質:ふっ素ゴム
●シール材質 表示記号:FKM(X-100)
●使用温度範囲(度):0~+50
●最小断面積(平方ミリメートル):83
●寸法L(mm):52
●寸法C(mm):36
●寸法H(mm):六角35
●寸法T(めねじ):Rc3/4
●容器容量:100L~200L用
●適用流体:空気・水・高純度薬品・各種工業ガス
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